ダイヤモンドライクカーボン膜

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発明の名称	ダイヤモンドライクカーボン膜の製造方法
技術分野	ものづくり, 環境／有機化学／無機化学, ナノテクノロジー
出願日	平成１７年２月１４日
出願番号	特願２００５－３６８７０
公開番号	特開２００５－２２６１６２
登録番号	特許第５００２８０３号
出願人	国立大学法人電気通信大学
発明者	田中勝己チュウチャオキョン飯島貴之
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概要	【特許請求の範囲】【請求項１】Ｓｉからなる基体の表面上に、Ｎｉを含む金属化合物、Ｃｏを含む金属化合物、およびＦｅを含む金属化合物から選ばれる１種又は２種以上の金属化合物を含有する溶液を塗布し、この基体の表面上に前記金属化合物を形成させる工程と、前記金属化合物が表面上に形成された基体を、常圧の炭化水素ガス含有雰囲気中で１４００℃以上に加熱することにより、前記基体の表面上に、炭化水素ガスの熱分解によるダイヤモンドライクカーボン膜を形成する工程とを有し、前記金属化合物の金属原子の数量が、基体を構成する原子の単位表面積当たりの原子の個数の１００分の１を超え、１未満となる範囲にて、前記金属化合物は前記基体の表面上に形成されることを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜の製造方法。

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