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開放特許情報

特許情報

発明の名称 クロム含有金属材料及びクロム含有金属材料の製造方法
技術分野 ものづくり, 環境/有機化学/無機化学, ナノテクノロジー
出願日 平成25年4月24日
出願番号 特願2013-91618
公開番号 特開2014-214336
登録番号
出願人 国立大学法人電気通信大学
発明者 田村 元紀
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概要 【要約】
【課題】皮膜密着性に優れた水素透過防止機能膜を有するクロム含有金属材料を提供すること。
【解決手段】ステンレス鋼又はクロムモリブデン鋼の金属材料と、前記金属材料の表面の少なくとも一部を被覆するクロム酸窒化物膜と、前記クロム酸窒化物の表面の少なくとも一部を被覆するセラミック膜と、を有し、前記クロム酸窒化物膜の膜厚は、0.01μm~1μmの範囲内にあり、前記セラミック膜の膜厚は、0.1μm~10μmの範囲内にある、クロム含有金属材料。

【特許請求の範囲】
【請求項1】
 ステンレス鋼又はクロムモリブデン鋼の金属材料と、前記金属材料の表面の少なくとも一部を被覆するクロム酸窒化物膜と、前記クロム酸窒化物の表面の少なくとも一部を被覆するセラミック膜と、を有し、前記クロム酸窒化物膜の膜厚は、0.01μm~1μmの範囲内にあり、前記セラミック膜の膜厚は、0.1μm~10μmの範囲内にある、クロム含有金属材料。
【請求項2】
 前記クロム酸窒化物膜中の酸素含有量は、10mol%以下である、請求項1に記載のクロム含有金属材料。
【請求項3】
 前記セラミック膜は、クロム窒化物、ボロン窒化物、アルミニウム酸化物、チタン窒化物及びケイ素炭化物の群から選択されるセラミックを含む、請求項1又は2に記載のクロム含有金属材料。
【請求項4】
 前記クロム酸窒化物膜及び前記セラミック膜は、各々、結晶質であり、かつ、結晶粒径が200nm以下である、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のクロム含有金属材料。
【請求項5】
 前記金属材料はステンレス鋼であり、前記ステンレス鋼は、SUS316Lである、請求項1乃至4のいずれか一項に記載のクロム含有金属材料。
【請求項6】
 ステンレス鋼又はクロムモリブデン鋼の金属材料の表面の少なくとも一部にクロム酸窒化物膜を成膜する、第1の成膜工程と、前記クロム酸窒化物膜の少なくとも一部にセラミック膜を成膜する、第2の成膜工程と、を含み、前記クロム酸窒化物膜の膜厚は、0.01μm~1μmの範囲内にあり、前記セラミック膜の膜厚は、0.1μm~10μmの範囲内にある、クロム含有金属材料の製造方法。
【請求項7】
 前記第1の成膜工程及び前記第2の成膜工程の少なくとも一方は、物理的蒸着法により実施される、請求項6に記載のクロム含有金属材料の製造方法。
【請求項8】
 前記物理的蒸着法は、イオンプレーティング法である、請求項7に記載のクロム含有金属材料の製造方法。
【請求項9】
 前記クロム酸窒化物膜中の酸素含有量は、10mol%以下である、請求項6乃至8のいずれか一項に記載のクロム含有金属材料の製造方法。
【請求項10】
 前記セラミック膜は、クロム窒化物、ボロン窒化物、アルミニウム酸化物、チタン窒化物及びケイ素炭化物の群から選択されるセラミックを含む、請求項6乃至9のいずれか一項に記載のクロム含有金属材料の製造方法。
【請求項11】
 前記クロム酸窒化物膜及び前記セラミック膜は、各々、結晶質であり、かつ、結晶粒径が200nm以下である、請求項6乃至10のいずれか一項に記載のクロム含有金属材料の製造方法。
【請求項12】
 前記金属材料はステンレス鋼であり、前記ステンレス鋼は、SUS316Lである、請求項6乃至11のいずれか一項に記載のクロム含有金属材料の製造方法

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