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開放特許情報

特許情報

発明の名称 ダイヤモンドライクカーボン膜の製造方法
技術分野 ものづくり, 環境/有機化学/無機化学
出願日 平成19年4月13日
出願番号 特願2007-106493
公開番号 特開2008-260670
登録番号 特許第5240978号
出願人 国立大学法人電気通信大学
発明者 田中 勝己
チュウ チャオキョン
中村 恭子
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概要 【特許請求の範囲】

【請求項1】
サファイア単結晶を含む基体を、触媒なしで、常圧の炭化水素ガス含有雰囲気中で1000℃以上に加熱することにより、前記基体の表面上に、炭化水素ガスの熱分解によるダイヤモンドライクカーボン膜を形成する工程を有することを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜の製造方法。

【請求項2】
前記加熱時間は60分以上であることを特徴とする請求項1記載のダイヤモンドライクカーボン膜の製造方法。

【請求項3】
前記加熱時間経過後、前記炭化水素ガスの供給を停止し、後処理用のガスを供給しつつ温度を徐々に低下させる工程をさらに有することを特徴とする請求項1または2記載のダイヤモンドライクカーボン膜の製造方法。

【請求項4】
前記炭化水素ガスは、プロパンを含有するガスであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載のダイヤモンドライクカーボン膜の製造方法。

【請求項5】
前記炭化水素ガスに水素ガスを混合することを特徴とする請求項4記載のダイヤモンドライクカーボン膜の製造方法。

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