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開放特許情報

特許情報

発明の名称 流量計測装置および流量計測方法
技術分野 ものづくり, ナノテクノロジー
出願日 平成19年4月9日
出願番号 特願2007-101335
公開番号 特開2008-256633
登録番号 特許第4947463号
出願人 国立大学法人 電気通信大学
発明者 小泉 博義
内記 陽一
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概要 【要約】

【課題】
保守の必要性の少ない、安価で単純、かつ高精度な微小流量計を提供する。

【解決手段】
先ず、流量と加熱による温度上昇との関係を示す検量線を作成する。そして、流体を流路に流し、流路の途中に設けられた加熱器で流体を加熱する。この加熱流体は流れに乗って移動するとともに熱拡散によって温度が一様化される。流路の途中に設けられた拡散部において、加熱器における加熱による加速の影響が緩和され、十分な拡散が行われる。そして、加熱器の下流側に設けられた温度検出部において加熱流体の温度計測が行われ、上記検量線に基づき流量が求まる。

【特許請求の範囲】

【請求項1】
流体を通過させる流路と、
前記流路を流れる流体を加熱する加熱器と、
前記流路の途中に設けられ、前記加熱器における加熱による加速の影響を緩和し流体の拡散を促す拡散部と、
前記加熱器の下流側に設けられ、前記加熱流体の温度を検出する温度検出部と
を備え、
前記加熱器は前記流路中または拡散部中に配置されている
ことを特徴とする流量計測装置。

【請求項2】
前記加熱器の制御および/または前記温度検出部からの検出信号の信号処理を行う情報処理装置を備えたことを特徴とする請求項1に記載の流量計測装置。

【請求項3】
前記流路が、該流路を流れる流体を重力と略逆向きに通過させるように保持されていることを特徴とする請求項1または2に記載の流量計測装置。

【請求項4】
前記流路が、該流路を流れる流体を重力と略同一方向に通過させるように保持されていることを特徴とする請求項1または2に記載の流量計測装置。

【請求項5】
前記拡散部が、前記流路の管径を縮小するレデューサであることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の流量計測装置。

【請求項6】
前記拡散部が、少なくとも一つの穴を有するプレートが流れ方向に対し直角に挿入してあることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の流量計測装置。

【請求項7】
前記加熱器による前記流体の加熱位置は、前記流体の流れ方向に直交する仮想面において、ほぼ中央であることを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載の流量計測装置。

【請求項8】
前記流体の流量は1ml
/min以下であることを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載の流量計測装置。

【請求項9】
加熱による加速の影響を緩和し流体の拡散を促す拡散部を有する流路を流れる流体の流量を計測する方法であって、
前記流体の一部を加熱して加熱流体とするステップと、
前記加熱流体の温度を計測するステップと、
前記加熱流体の上昇温度と前記流体の流量との関係を示す検量線を用いて、前記流体の流量を計測するステップ
とを備えることを特徴とする流量計測方法。

【請求項10】
加熱による加速の影響を緩和し流体の拡散を促す拡散部を有する流路を流れる流体の流量を計測する方法であって、
前記流体の一部を加熱して加熱流体とし、該加熱流体の上昇温度と前記流体の流量との関係を示す検量線を作成するステップと、
前記流体の一部を加熱して加熱流体とするステップと、
前記加熱流体の温度を計測するステップと、
前記検量線を用いて前記流体の流量を計測するステップ
とを備えることを特徴とする流量計測方法。

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