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開放特許情報

特許情報

発明の名称 ダイヤモンドライクカーボン膜の製造方法
技術分野 ものづくり, 環境/有機化学/無機化学, ナノテクノロジー
出願日 平成17年2月14日
出願番号 特願2005-36870
公開番号 特開2005-226162
登録番号 特許第5002803号
出願人 国立大学法人電気通信大学
発明者 田中 勝己
チュウ チャオキョン
飯島 貴之
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概要 【特許請求の範囲】

【請求項1】
Siからなる基体の表面上に、Niを含む金属化合物、Coを含む金属化合物、およびFeを含む金属化合物から選ばれる1種又は2種以上の金属化合物を含有する溶液を塗布し、この基体の表面上に前記金属化合物を形成させる工程と、
前記金属化合物が表面上に形成された基体を、常圧の炭化水素ガス含有雰囲気中で1400℃以上に加熱することにより、前記基体の表面上に、炭化水素ガスの熱分解によるダイヤモンドライクカーボン膜を形成する工程とを有し、
前記金属化合物の金属原子の数量が、基体を構成する原子の単位表面積当たりの原子の個数の100分の1を超え、1未満となる範囲にて、前記金属化合物は前記基体の表面上に形成されることを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜の製造方法。

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